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Pillar 超级接头

发布时间：2022-03-31 浏览次数：75 返回列表

Pillar 超级接头是一种旋转接头，在裸晶圆精密抛光、绝缘膜和金属布线等多种 CMP 工艺中实现了出色的密封性能和长寿命。

它是使用以CMP设备为代表的旋转压头

的半导体/FPD制造设备不可缺少的功能部件。

[主要用途]

　冷却水晶片加压用空气供给

　晶片吸附用真空供给

　喷水用纯水浆液供给

　转盘冷却水供给

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